上。”
他把图纸翻到第二页，指着一处光学系统布局图：
“这个非球面镜组的曲面方程，我看第一遍的时候以为数据标错了。算了三遍才确认，没错。就是这个数。”
古工在旁边接了一句：
“这个光学系统设计，不是这一代人的思路。”
车间里安静了几秒。
许锋开口：
“你们还需要什么条件才能开始装配？直接说。”
古工和苏工对视了一眼。
古工先开口：
“光学镜组的毛坯料。高纯度石英玻璃，直径不小于两百毫米，光学均匀性要求在十的负六次方级别。这是镜组加工的基础原材料，没有这个，后续所有工序都无从谈起。”
“这个已经在采购了。样品下周到，赵明远会做材料性能验证。继续。”
苏工接着古工的话往下说：
“精密运动平台的核心驱动组件——磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器。这两个组件决定了运动平台的定位精度，图纸上标注的重复定位精度要求在纳米级别。目前国内常规供应渠道的产品达不到这个精度，需要重新选型或者自己改。”
古工在旁边补充：
“压电陶瓷致动器军科院有储备，精度够用，磁悬浮直线电机需要定制，我已经把参数包发给供应商，初步反馈是能做，但交货周期至少四周。”
许锋在心里默算了一下时间线。
光学镜组毛坯料下周到位，加工周期大约需要两到三周，这是洁净车间里最耗时间的工序。
精密运动平台的定制电机四周到货，和其他组件的装配周期基本重合。
曝光系统的光源模组陈振华已经在军科院那边协调了，预计两周内到位。
综合算下来，光刻机基础版样品的装配调试可以在四个月内完成，比系统最初预估的四到五个月缩短了近一个月的周期。
“电机采购的审批流程如果卡住，直接找龙王。供应那边需要的采购资金走龙牙专项账户，不需要经过常规审批。”
许锋说完，转向古工：
“装配开始之后，你们的工序怎么排？”
古工走到东南角的装配工位前面，用手在空气中比划：
“第一阶段，光学镜组的加工和镀膜。这是整个光刻机装配中最关键的一步，镜片的曲面精度直接决定了曝光系统的成像质
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