量。光学镜组一共七片，其中非球面镜三片，球面镜四片。加工顺序从大尺寸镜片往小尺寸走，三片非球面镜放在最后，因为加工难度最大。”
他的手往西北角移动：
“第二阶段，精密运动平台的装配和调试。运动平台是晶圆承载和移动的核心组件，图纸上标注的定位精度是零点五纳米。这个精度需要在实际调试中反复校准，运动平台装好之后要和光学系统做联合校准，整个调试过程不会少于两周。”
苏工接过了话题：
“第三阶段，总装和试制，光学系统、运动平台、曝光系统、控制系统——四个子系统全部装配到位之后，进行首次联调。联调通过之后进行第一次试制，用试制晶圆验证整机的曝光精度和重复定位精度。”
许锋听完两人的排序：“时间上有什么瓶颈？”
古工没有立刻回答，他走到西北角的运动平台测试台旁边，用手按了一下那个预留的台面。
台面是大理石材质的，表面经过了精密研磨，平整度在微米级别。
“最大的瓶颈不在工序本身，在人。”古工的声音很平静。
“光学镜组的加工，三片非球面镜的曲面方程复杂程度远超常规镜片，每一片都需要连续多天的加工，中间不能停。我和苏工两个人轮班倒可以，但镀膜工序需要专门的设备，那套设备要等加工中心到位之后才能改装。”
许锋转向苏工：
“加工中心什么时候能用？”
苏工从文件夹里抽出一张设备安装排期表，上面标注了每一台设备的安装时间窗口。k
“厂区封顶之后，设备基础浇筑和养护还需要两周。一体式加工中心上周已经运到了，现在暂时存在临时仓库里，等设备基础养护期满就可以安装调试。”
“加工中心安装调试需要一周。镀膜设备的改装可以在加工中心调试完成之后立刻开始，预计需要三到四天。按照这个排期，光学镜组开始加工的时间节点大约在三周之后。”
三周。
许锋在心里把这个时间节点和孙国栋那边冷却系统的进度做了一个对照。
孙国栋的冷却系统原型机也是三周内完成，两者刚好同步。
冷却系统原型机出来之后，如果能赶上光刻机的光学镜组开始加工，激光器整机验证的时间
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