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第1118章 光子芯片[3 / 6]

把门关上了。

接下来四十八个小时,周明远带着团队从头到尾排查了每一道工序。

光刻对准精度:达标。

刻蚀均匀性:达标。

薄膜厚度控制:达标。

掺杂浓度分布:达标。

退火温度曲线:达标。

单看每一项,全部在规格范围之内。

但合在一起,良率只有百分之三十。

问题不在任何一个单独环节。是多个工序之间的微小偏差叠加在一起,产生了系统性的累积误差。光刻偏了零点三纳米,刻蚀又偏了零点二纳米,薄膜厚了零点一纳米——每一个偏差都在容差范围内,但六七道工序叠下来,总偏差就超标了。

周明远试着调参数。

调了第一版,跑了一百片,良率百分之三十四。

调了第二版,良率掉到了百分之二十七——更差了。

调了第三版。百分之三十一。

原地打转。

传统的方法是逐项调参,一次改一个变量,固定其余变量,观察结果。但一百三十七个关键工艺参数相互耦合、彼此牵扯,改了A就影响B,调了B又带歪了C。

这不是人力能穷举的组合空间。

周明远在工艺分析室里拍了桌子。

从认识他到现在,这是周明远第一次失态。桌上的咖啡杯弹起来,棕色的液体泼了一桌子数据表。

消息传到京州市政府的时候是下午四点。

苏哲正在翻明年的预算草案。林锐把周明远的通话记录转述了一遍,末了加了一句:“周总工说他需要时间。”

苏哲没有回应这句话。他拿起手机拨了另一个号码。

陈默接起来的时候,背景里有键盘声——他还在超算中心。

“量产线良率百分之三十,一百三十七个耦合参数,传统调参走不通。”

苏哲把情况用三句话讲完了。

电话那头键盘声停了。

陈默沉默了大概五秒钟,然后只说了三个字:“发数据。”

两小时后,陈默人还在敦煌,但盘古工业大模型的算力已经调了三分之一过来。

量产线的一百三十七个关键工艺参数、三十万组历史测试数据、每一道工序的实时传感信号,全部灌进了模型。

陈默在视频里跟周明远讲了一遍方案。

“盘古会跑一个全参数空间的搜索。不是逐项试,是把一百三十七个参数当成一

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