，压根就没法比，我们之前的那套方案跟垃圾有什么区别？”
更让众人惊喜的是热管理子系统！
文档中提出在镜体内部嵌入微通道水冷结构，搭配耐高温的钼铼合金基底，既能承受等离子体的高温冲击，又能避免温度过高导致多层膜脱落。
“我们最担心的‘高温损伤’问题，这套方案竟然连水冷通道的直径、水流速度都算好了！”
材料组的工程师翻到工艺参数页，激动地说道。
“对了，林工！这个梯度涂层的方案，从钼硅多层膜到二氧化硅保护层，每层的厚度误差控制在0.1纳米以内，还得用脉冲激光沉积法分80次沉积，这精度咱们的设备能达到吗？”
有人面露难色地担忧道。
林南皱起眉头，看向设备组的主任工程师问道：“蔡司镀膜机在恒温恒湿环境下，能不能把精度稳定控制在0.05到0.1纳米之间？”
设备组的主任工程师想了想，非常严谨地回答道：“连续沉积10层钼硅膜，厚度误差最小0.04纳米，最大0.09纳米，刚好能满足方案要求。
但问题是，每次换靶材、调整激光功率时，误差会出现0.12到0.15纳米的波动，80次沉积下来，累积误差可能会超标。”
林南思索片刻，给了一条解决思路：“那就加一道实时校准的流程，算法组先开发一套膜厚监测程序，跟镀膜机的传感器联动，每沉积10层，就自动暂停，用电子显微镜扫描膜厚。
根据实测数据调整下一轮的激光功率和沉积时间，把单次误差控制在0.05纳米以内。
另外，在镀膜机周围加一圈恒温罩，避免温度的负面影响。”
其他人闻言，顿时豁然明悟。
林南毕竟是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，能力和技术兼而有之，又是胡锐晖极力推荐的人才，关键时刻能拿出行之有效的方案倒也正常。
事实上，在陈延森看来，像林南等人，智商、领悟力和创造力都不错，但苦于接触不到EUV光学的顶尖技术，这才像是鬼打墙似的，一直绕弯路。
若是能拥有同等的科研环境，林南未必开发不出一套收集镜系统，可很多事终究没有如果。
而陈延森能搞定这项技术，靠的也是远超常人百倍的
本章未完，请点击下一页继续阅读！