这次理查德寄来的是一本书以及一封信件。
时珈一没着急看书名,至于信件,又被拆过了。
她也没在意,拆开信,抽出信纸。
“亲爱的时!”
“你的信收到了。你在信里问的那些问题,我只能尽量回答,请你理解。”
“关于氧化工艺,你提到的用石英管高温炉在氧气或水蒸气环境中加热硅片,这个方向是对的。我们这边的实验表明,水蒸气环境下的氧化速率比纯氧气环境快得多,生成的二氧化硅层也更均匀。至于具体的温度范围,我没有办法告诉你精确的数字,只能说大概在九百度到一千二百度之间。”
“我们的炉子温度控制精度在正负一度以内,所以氧化层的厚度可以控制得比较均匀。你们那边的炉子如果温度控制不稳,可以考虑在炉膛内部加装一个均温套筒,或者降低升温速率来减少温度梯度。”
时珈一读到这里的时候,“哟”了一声。
没啥,就是因为这次的信件总算给了一点真实性的建议。
当然,肯定需要实际的实验才能知道。
但是,这说明什么呢?
时珈一还没读下去,就猜测理查德应该是也想知道一些关于她的研究。
不过,正负一度以内这个精度在1955年属于领先水平,苏国目前的工业炉子能做到正负五度就已经很不错了。
继续阅读。
“至于你上次信里提到的那个高精度位移传感器项目,我很感兴趣。就是你在会议上提到的LVDT吧?线性范围正负四毫米,灵敏度零点六二伏每毫米。”
“这个数据已经很漂亮,虽然我不知道你是如何达到闭环控制的效果。但是关于你提到温漂的问题,关于胶粘剂的热膨胀系数与铝合金外壳不匹配导致0.3%的误差,这个分析很有道理。”
“如果你有兴趣,我可以把我们这边关于LVDT信号调理电路的一些思路分享给你。虽然我不懂传感器,但是我了解到,我们遇到过类似的问题,后来用一种差动电容补偿的方法把温漂降到了0.1%以下。”
时珈一的目光在这里停了一下。差动电容补偿,她其实是知道的,什么意思呢。
温漂是温度漂移的意思,因为温度变化,仪器跑偏了。
差动电容补偿,就是设计一个反向结构,
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