几辆卡车拉走那么简单。半导体制造设备,尤其是光刻机、离子注入机和高精度刻蚀机,对防震、温湿度以及洁净度的要求达到了变态的级别。
稍微剧烈的颠簸,都可能导致光路系统偏移或者腔体微观结构受损,让价值上亿的设备沦为废铁。
吴汉明没有为了省钱而去聘请普通物流,而是直接花重金从上海请来了一支专门从事半导体晶圆厂搬迁的国际工程团队。
接下来的半个月里,锡城老厂区内日夜忙碌。
专业人员穿着防静电服,小心翼翼地切断设备的水电气管路。每一台核心设备在拆卸前,都要进行严格的参数标定和数据备份。
随后,光刻机的气浮减震系统被物理锁定,内部充入高纯度氮气,外部包裹上多层防静电、防潮的铝箔真空袋。
所有的设备底座都加装了定制的防震托盘,最后由带有空气悬挂系统的精密仪器专用气垫车进行装载。
一支由几十辆重型气垫卡车组成的庞大车队,在安保车辆的护送下,浩浩荡荡地驶上高速,以极其平稳的速度向着中原腹地进发。
……
而在车队的目的地,郑州。
为了迎接这座斥资十二亿买回来的“金疙瘩”,郑州市政府展现出了惊人的效率。
原本许晨还担心新厂房的建设周期太长,设备运回来没地方放。
但副市长直接在郑州航空港区拍板,划拨出了一片高标准的无尘厂房。
这片厂房原本是前两年市里为了引进一家台资面板企业而量身定制的,后来因为对方战略调整投资搁浅,厂区主体建好后就一直空置着。
厂房的防微震地基、极高的层高以及大面积的洁净室框架,完全符合八英寸晶圆厂的落户标准。
许晨这半个月几乎长在了航空港区。他亲自坐镇,协调各路资源。
半导体是耗电大户,对电能质量的要求极高,哪怕是一秒钟的电压波动都可能导致整炉晶圆报废。
许晨通过市里的绿色通道,协调供电局连夜施工,从两个不同的变电站拉来了两条高压专线,实施双回路不间断供电。
水务部门开足马力,为厂区铺设了超纯水制备系统的专用管网;特种气体仓储的消防审批,也在保证安全的前提下实现了特事特办。
当第一辆满载着光刻机的气垫
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