体。”
他的笔尖飞舞，一个个全新的名词和公式，从他笔下流出。
“我们不再使用单一的高功率二氧化碳激光，而是采用双激光脉冲系统。第一道，是纳秒级的紫外预脉冲激光，它的作用，不是产生EUV光，而是制造一个‘环境’。”
“它将极低浓度的锡蒸气，预电离成一个均匀、稀疏、且几乎没有中性粒子污染的等离子体薄层。在这个薄层里，锡离子的密度，被精确控制在10的15次方每立方厘米的量级，这，就是我们需要的‘净土’。”
会议室里，所有技术专家的呼吸，都在这一刻屏住了。
双激光脉冲？
预电离？
稀疏等离子体薄层？
这些概念，完全颠覆了他们以往的认知！
林振国也顾不上身体的不适了，他死死地抓住扶手，强撑着身体，那双浑浊的老眼里，爆发出骇人的精光，一眨不眨地盯着白板。
陈正宇的声音，继续在安静的会议室里回响。
“当这个‘净土’制造完成后的皮秒之内，第二道，也是最关键的一道激光——超短脉冲（飞秒级）的深紫外主激光，以一个特定的角度和频率，注入这片等离子体薄层。”
“这道主激光的作用，不是暴力轰击，而是‘共振激发’！”
“共振激发”四个字一出，林振国的身体猛地一震！
他像是想到了什么，抓起桌上的笔，在草稿纸上疯狂地演算起来。
陈正宇瞥了他一眼，嘴角露出一丝赞许的笑意，不愧是院士，这么快就抓住了关键。
“没错，就是共振。”陈正宇的声音提高了几分，“我们将主激光的频率，精确调制到与特定能级的锡离子内部电子跃迁频率完全一致！通过共振效应，将能量高效地，几乎是百分之百地，传递给这些锡离子，诱导它们发生雪崩式的集体跃迁和辐射。”
“在这个过程中，由于等离子体密度极低，离子间的平均距离极大，‘自吸收效应’被抑制到了可以忽略不计的程度！每一个辐射出来的EUV光子，都能畅通无阻地逃逸出来！”
“如此一来，能量转换效率，将不再是0.5%。”
陈正宇停下笔，转过身，看着会议室里那一张张如同石化般的脸。
他伸出两根手指，用一种平静到极点的语气，说出了一个足以让整个半导体行业都为之疯狂
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