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第197章 涌向CK的暗流[1 / 6]

荷蓝,埃因霍温,阿斯唛(ASM)研发实验室。

空气中弥漫着一种近乎凝固的兴奋,混合着精密仪器的特殊冷却液气味和咖啡的浓郁香气。

巨大的洁净室内,一台庞大而复杂的机器,人类历史上第一台极紫外(EUV)光刻机原型机,正静静地矗立在中央,仿佛一头蛰伏的金属巨兽。

虽然它此刻的晶圆良品率低得可怜,仅有30%,光源输出功率也忽高忽低,稳定性堪忧,远未达到商用标准,但这并不妨碍围绕它的研发人员们脸上洋溢着巨大的成就感和狂喜。

突破了!

他们真的突破了物理的极限,为摩尔定律的延续凿开了一道新的曙光!

与已经十分成熟、但已逼近物理极限的深紫外(DUV)光刻机相比,这台EUV是通向7nm乃至更先进制程的全新道路。

实验室的门滑开,阿斯唛总裁皮特·温尼克面带笑容地走了进来,立刻被热烈的掌声和欢呼包围。

他热情地与每一位核心工程师握手,声音洪亮而充满感染力。

“女士们,先生们!

今天,你们创造了历史!

这台机器,不仅仅是一台光刻机,它是人类智慧对抗物理法则的又一次伟大胜利!

它证明了我们阿斯唛走在正确的道路上,证明了全球协作的力量!

EUV的时代,将由我们一同开启!”

狂欢的气氛被推向了高潮。

香槟酒塞“嘭”地打开,泡沫四溅。

在一片欢腾中,温尼克将EUV项目负责人,来自台机电的技术大拿闫涛南叫到了一旁相对安静的角落。

温尼克脸上的笑容稍稍收敛,他需要了解更现实的情况。

“闫,干得漂亮!

但现在,我需要知道最真实的数据。

如果我是说如果,我们的关键子系统被迫启用备用供应商,对良率的影响具体有多大?”

闫涛南推了推眼镜,技术人的严谨让他迅速进入状态,语气清晰而准确。

“温尼克先生,情况如下:

光源系统:

目前我们使用北美Cymer的LPP(激光等离子体)光源,能量转换效率达到5.5%。

如果换用备用供应商得国TRUMPF的30kW二氧化碳激光器,其转换效率为3.42%,且稳定性稍逊。

模拟结果显示,这会导

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