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第1570章 后来者居上[2 / 5]

够摸著尼康、阿斯麦它们过河。

它们走过的冤枉路,东芯不需要再进坑,甚至可以走其它的路,157纳米光刻机,既然只是个临时方案,那东芯到时候不用行不行?

反正东芯,又没在157纳米光刻机上投一分钱,又没有沉没成本,根本不怕换了方案之后的损失。再者,周石之前在的45研究所的光刻机团队,为了研发光刻机,是什么法子都试过,所以对于新方案,接受程度更高。

「如果用水作为媒介,那这款使用浸润式方案的光刻机,一旦研发成功,就能把晶片工艺,给推到28纳米!」

周石说出这话时,在场众人都被吓了一大跳,如果真的如此,那这套方案,听起来,比起157纳米光刻机方案,都还要诱人的多。

「如果再配上多重曝光、光刻胶、套刻精度、蚀刻工艺等,那是有机会,把晶片工艺推到10纳米以下的‖」

倪广南也开口说道,大家都是行业内的老炮,最基本的手段,都是门清,只需要一个思路,就能延伸下来。

「如果林博士这套方案可行,那真的是,将改变整个半导体行业的困境!」

黄灵仪也向著林沐坚赞叹道,这种全新的思路方案,不论能不能成,都给了半导体行业一个新的希望。「这不是我的思路!」

林沐坚听到周石、倪广南、黄灵仪等人,将新方案的功劳,推到了他身上,是连连摆手。

「这方案,我只是进行了一些计算,实际上,这是……」

林沐坚看向李东陵,他想说,为光刻机引入水作为媒介,利用水的折射,把193纳米光源变成134纳米,这可是李大善人当年告诉他的。

而林沐坚这几年来,实际上,是对这个方案进行了计算和推演,这套方案,是走了跟日苯干式光刻机不同的路子,变成了浸润式DUV光刻机。

但,如果这方案真成了,这份功劳林沐坚可不敢独揽,尤其是这还是李大善人给他提供的思路。不等林体坚说完,坐在这场学术会议,原本充当小透明的李东陵,这时候开口道。

「林博士这个方案,当年加入东芯时,就跟我提起过。

现在看来,确实是解决半导体困境的新方案!」

李东陵打断了林体坚的话,把功劳,又给推到了他身上,如

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