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第422章改造成功,0.1纳米精度光刻机[1 / 3]

“开始吧。”许锋说。

苏工按下了启动键,光刻机开始运作。

首次试制持续了将近三个小时,期间没有人说话,古工和苏工各自盯着自己负责的显示屏。

运动平台的位移数据在纳米级别上跳动,曝光光源的光强曲线平稳,光学系统的成像质量监测数据每隔几秒刷新一次,每一次都在公差带以内。

许锋站在两人身后,目光从一块屏幕移到另一块屏幕。

超级大脑在后台同步处理着所有子系统的实时数据流,每一个参数的波动都在他的感知范围之内。

终于,试制结束。

测试晶圆从光刻机里退出来的时候,苏工的手在控制面板上停了一下才按下确认键。

他拿起晶圆,送进旁边的检测工位。

扫描电子显微镜对准晶圆表面的第一片曝光区域。

图像清晰之后,车间里安静了很长时间。

古工第一个开口:“线宽精度二十五纳米。达到基础版设计指标。曝光均匀性合格。重复定位精度——合格。”

苏工没说话。

他站在检测屏幕前面,把同一片区域的检测图像反复对比了三遍。

三遍之后,他在检测报告上签了字,然后把签字笔放在桌上,靠进椅背里长长地出了一口气。

“二十五纳米,跟国际上最先进的比还有差距,但作为第一台自主制造的光刻机,已经是了不起的起点了。”苏工的声音里带着疲惫,也带着一丝不易察觉的遗憾。

许锋看了一眼检测报告上的关键数据。

曝光线宽、套刻精度、缺陷密度——每一项指标都达到了基础版图纸标注的设计要求,但也仅仅是达到。

二十五纳米,在军用芯片领域够用,但要做人工智能生命体的核心处理器,这个精度远远不够。

他拿起笔在报告的最后一页签了字,心里已经在盘算另一件事。

“古工、苏工,这阵子辛苦了。今天早点休息,后续的优化方案我来想办法。”

古工摘下老花镜揉了揉眼睛,这八周他几乎没睡过一个完整的觉:

“也好,基础版跑通了,后面的路就好走了。许大队长,优化方案的事你多费心,我和苏工明天再过来。”

两人收拾了工具,关上洁净车间的主灯,脚步声沿着走廊渐渐远去。

许锋在车间门口站了一会儿,

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